自由电子激光光源下高数值孔径EUV光刻成像的快速仿真与性能优化研究
批准号：
--
项目类别：
面上项目
资助金额：
52 万元
负责人：
董立松
依托单位：
中国科学院微电子研究所
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
董立松
关键词：
自由电子激光光源高数值孔径EUV性能优化研究光刻成像快速仿真
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超大数值孔径光刻中的负显影模型研究
  • 批准号：
    61804174
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    董立松
  • 依托单位：
    中国科学院微电子研究所
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