基于聚合物MEMS微针与微流体技术的集成微系统研究

微流体与微针技术的集成将为生物信号的分析、药物注射、微量样本分析、疾病检测等众多领域提供新的技术手段，具有广阔的应用前景。该系统构造上存在的主要问题在于：1、现有的微针制备方法存在工序复杂、制造难度大、微针倾斜角度不足或倾斜角不可变化的问题。2、迫切需要探索应用安全的、生物兼容性好，制备成本低的聚合物材料微针。为了解决上述问题，本项目提出了背面夹缝曝光新思路，开发微针制备新技术，并通过与微流体芯片的键合集成构建聚合物微流体系统。本项目将按照上述思想开展系统性基础研究，研究内容包括：背面夹缝曝光技术机理研究，集成微流体系统的力学与流体理论研究，微针结构设计，微加工工艺与系统集成制造技术研究，器件性能测试等，探索新加工方法的可行性，研制原型系统，评价系统性能。一旦获得成功，不但意味着一种新型三维微加工技术以及集成微系统的诞生，而且有利于我国MEMS行业技术进步，加快产业化的进程。