超高精度束线光学元件逆向哈特曼拼接测量原理与制造工艺可达性研究
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基于扩展光源的斐索型同步移相干涉测量技术研究
- 批准号:61008033
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:22.0万元
- 批准年份:2010
- 负责人:王姗姗
- 依托单位:
国内基金
海外基金
