课题基金 / 基金详情

瞬时热处理硅中微缺陷的研究

批准号：
68676006
项目类别：
面上项目
资助金额：
4.0 万元
负责人：
钱佩信
依托单位：
清华大学
学科分类：
半导体科学与信息器件
结题年份：
1988
批准年份：
1986
项目状态：
已结题
项目参与者：
钱佩信
关键词：
瞬时热处理硅微缺陷半导体材料缺陷工程

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  • 批准号：
    69836020
  • 项目类别：
    重点项目
  • 资助金额：
    115.0万元
  • 批准年份：
    1998
  • 负责人：
    钱佩信
  • 依托单位：
    清华大学
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