粗抛阶段面形大误差的反衍混合自适应补偿干涉检测方法研究
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超精密光学面形的高动态范围智能干涉检测方法
- 批准号:2023JJ30633
- 项目类别:省市级项目
- 资助金额:0.0万元
- 批准年份:2023
- 负责人:薛帅
- 依托单位:
国内基金
海外基金
