课题基金 / 基金详情

高灵敏度多层纳米膜遂穿微陀螺仪研究

批准号：
50675212
项目类别：
面上项目
资助金额：
35.0 万元
负责人：
刘俊
依托单位：
中北大学
学科分类：
微纳机械系统
结题年份：
2009
批准年份：
2006
项目状态：
已结题
项目参与者：
张斌珍、郭涛、石云波、祁晓瑾、王昊宇、王玲、杨林森、马宗敏
关键词：
共振遂穿压阻效应非搀杂双势垒薄膜材料..遂穿陀螺仪

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中文摘要
本项目拟采用双势垒（或多势垒）结构多层纳米薄膜作为压敏材料，通过对不同势垒结构薄膜共振遂穿效应的研究，得到共振隧穿薄膜I－V曲线中电流峰谷比最大者作为压敏结构（该结构在相同应力的作用下灵敏度最大）；研究以外延薄膜生长技术与腐蚀、刻蚀结构加工技术相结合的工艺加工方法，实现MEMS工艺与纳米多层薄膜的工艺结合；通过对共振遂穿效应微陀螺仪的结构设计、仿真与加工，突破多层纳米薄膜共振遂穿压敏电阻的生长技术
英文摘要
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专利列表
纳米膜共振隧穿效应微陀螺的设计与测试
DOI： --
发表时间： --
期刊： 兵工学报
影响因子： --
作者： [刘俊*, 马宗敏, 石云波, 杜康, 张文栋, 张斌珍]
通讯作者： 张斌珍
介观压阻效应微陀螺仪制造中出现的问题及改进方法探讨
DOI： --
发表时间： --
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一种新型电磁式微机械陀螺的结构设计与仿真
DOI： --
发表时间： --
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DOI： --
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复杂曲面光学微谐振腔跨尺度制造方法研究
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    --
  • 资助金额：
    260万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    刘俊
  • 依托单位：
    中北大学
量子精密测量学科前沿与发展趋势
  • 批准号：
    52142504
  • 项目类别：
    专项基金项目
  • 资助金额：
    10万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    刘俊
  • 依托单位：
    中北大学
芯片级固态核磁共振力/磁传感基础研究
  • 批准号：
    51635011
  • 项目类别：
    重点项目
  • 资助金额：
    285.0万元
  • 批准年份：
    2016
  • 负责人：
    刘俊
  • 依托单位：
    中北大学
面向高灵敏度生化传感器圆片级大面积多维有序纳米结构制造基础研究
  • 批准号：
    91123016
  • 项目类别：
    重大研究计划
  • 资助金额：
    60.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    刘俊
  • 依托单位：
    中北大学
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