课题基金 / 基金详情

e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器基础研究

批准号：
50730009
项目类别：
重点项目
资助金额：
180.0 万元
负责人：
刘俊
依托单位：
中北大学
学科分类：
微纳机械系统
结题年份：
2011
批准年份：
2007
项目状态：
已结题
项目参与者：
吴文刚、叶雄英、闫桂珍、唐飞、张斌珍、于晓梅、魏天杰、伍康、王建
关键词：
半导体器件指数传感器e微纳机械结构

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项目成果

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中文摘要
：本项目拟开展e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构高灵敏传感器研究。e指数半导体器件的I-V 特性呈e 指数关系，这一特性使得e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构对外加力学量的变化有极其灵敏的响应，因此应用这类微纳机械结构可以极大提高传感器的探测灵敏度。本项目将主要研究微纳机械结构形变与e 指数半导体器件载流子输运耦合机理、基于片内集成微光栅的e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构力电特性测试方法、e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构加工技术、基于e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构的传感器等。通过研究，将取得多方面创新成果，包括提出并实现新的高灵敏检测方法，揭示力电耦合机理，建立e 指数半导体器件嵌入式微纳机械结构与载流子输运耦合模型，开发出适当工艺方法，实现高灵敏加速度计、表面结合应力生化传感器等。本项目的研究对于发展新型高灵敏传感器具有重要意义。
英文摘要
期刊论文列表
专著列表
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会议论文列表
专利列表
偏压对HEMT嵌入式微加速度计温度特性的影响
DOI： --
发表时间： --
期刊： 仪表技术与传感器
影响因子： --
作者： [刘俊, 胡全忠, 谭振新, 史伟莉, 张斌珍, 薛晨阳]
通讯作者： 薛晨阳
Modeling and modification of the parallel plate variable MEMS capacitors considering deformation issue
考虑变形问题的平行板可变 MEMS 电容器的建模和修改
DOI： --
发表时间： --
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影响因子： 5.2
作者： [Dongming Fang, Binzhen Zhang]
通讯作者： Binzhen Zhang
基于MESFET的GaAs基微加速度计的设计与性能测试
DOI： --
发表时间： --
期刊： 测试技术学报
影响因子： --
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通讯作者： 张文栋
16 MIRROR TYPE OPTICAL SWITCH WITH INTEGRATED FIBER ALIGNMENT AND STEADY SWITCHING STATE
16 镜面型光开关，集成光纤对准，开关状态稳定
DOI： --
发表时间： --
期刊： Microwave and Optical Technology Letters
影响因子： 1.5
作者： [Y.L. Hao, Q.H. Chen, J.B Zou, Z.Q Wang, W.G. Wu, G.Z. Yan]
通讯作者： G.Z. Yan
共 47 条
    量子精密测量学科前沿与发展趋势
    • 批准号：
      52142504
    • 项目类别：
      专项基金项目
    • 资助金额：
      10万元
    • 批准年份：
      2021
    • 负责人：
      刘俊
    • 依托单位：
      中北大学
    复杂曲面光学微谐振腔跨尺度制造方法研究
    • 批准号：
      --
    • 项目类别：
      --
    • 资助金额：
      260万元
    • 批准年份：
      2021
    • 负责人：
      刘俊
    • 依托单位：
      中北大学
    芯片级固态核磁共振力/磁传感基础研究
    • 批准号：
      51635011
    • 项目类别：
      重点项目
    • 资助金额：
      285.0万元
    • 批准年份：
      2016
    • 负责人：
      刘俊
    • 依托单位：
      中北大学
    面向高灵敏度生化传感器圆片级大面积多维有序纳米结构制造基础研究
    • 批准号：
      91123016
    • 项目类别：
      重大研究计划
    • 资助金额：
      60.0万元
    • 批准年份：
      2011
    • 负责人：
      刘俊
    • 依托单位：
      中北大学
    国内基金
    海外基金