单晶金刚石激光诱导石墨化辅助CMP抛光协同作用机制与关键技术
批准号：
--
项目类别：
面上项目
资助金额：
58 万元
负责人：
路家斌
依托单位：
广东工业大学
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
路家斌
关键词：
CMP抛光协同作用机制单晶金刚石石墨化
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单晶金刚石紫外光催化-芬顿反应CMP抛光协同作用机制与关键技术
  • 批准号：
    n/a
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2022
  • 负责人：
    路家斌
  • 依托单位：
    广东工业大学
SiC晶片原子级超光滑表面磁流变化学复合抛光加工研究
  • 批准号：
    51375097
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    80.0万元
  • 批准年份：
    2013
  • 负责人：
    路家斌
  • 依托单位：
    广东工业大学
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