单晶金刚石紫外光催化-芬顿反应CMP抛光协同作用机制与关键技术
批准号:
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项目类别:
省市级项目
资助金额:
10.0 万元
负责人:
路家斌
依托单位:
学科分类:
合成化学
结题年份:
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批准年份:
2022
项目状态:
未结题
项目参与者:
路家斌
单晶金刚石激光诱导石墨化辅助CMP抛光协同作用机制与关键技术
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批准号:--
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项目类别:面上项目
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资助金额:58万元
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批准年份:2021
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负责人:路家斌
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依托单位:
SiC晶片原子级超光滑表面磁流变化学复合抛光加工研究
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批准号:51375097
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项目类别:面上项目
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资助金额:80.0万元
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批准年份:2013
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负责人:路家斌
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依托单位:
国内基金
海外基金