课题基金 / 基金详情

单晶金刚石紫外光催化-芬顿反应CMP抛光协同作用机制与关键技术

批准号:
--
项目类别:
省市级项目
资助金额:
10.0 万元
负责人:
路家斌
依托单位:
学科分类:
合成化学
结题年份:
--
批准年份:
2022
项目状态:
未结题
项目参与者:
路家斌

路家斌的其他基金

相似基金

相关文献

单晶金刚石激光诱导石墨化辅助CMP抛光协同作用机制与关键技术
  • 批准号:
    --
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    58万元
  • 批准年份:
    2021
  • 负责人:
    路家斌
  • 依托单位:
SiC晶片原子级超光滑表面磁流变化学复合抛光加工研究
  • 批准号:
    51375097
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    80.0万元
  • 批准年份:
    2013
  • 负责人:
    路家斌
  • 依托单位:
国内基金
海外基金