课题基金 / 基金详情

氮化铝陶瓷薄膜的CVD合成和性能

批准号：
29271031
项目类别：
面上项目
资助金额：
4.5 万元
负责人：
孟广耀
依托单位：
中国科学技术大学
学科分类：
无机合成
结题年份：
1995
批准年份：
1992
项目状态：
已结题
项目参与者：
杨萍华、王春林、曹传宝、喻维杰、刘希
关键词：
氮化铝CVD薄膜陶瓷

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