精细加工复合工艺的基础研究
批准号：
59775073
项目类别：
面上项目
资助金额：
11.0 万元
负责人：
金洙吉
依托单位：
大连理工大学
学科分类：
E0509.加工制造
结题年份：
1999
批准年份：
1997
项目状态：
已结题
项目参与者：
方建成、徐文骥、徐旭、李方伟
关键词：
复合加工磁粒加工脉冲电化学加工
国基评审专家1V1指导 中标率高出同行96.8%
结合最新热点，提供专业选题建议
深度指导申报书撰写，确保创新可行
指导项目中标800+，快速提高中标率
客服二维码
微信扫码咨询
ULSI制造中的铜互连层低压力平坦化技术基础
  • 批准号：
    90923025
  • 项目类别：
    重大研究计划
  • 资助金额：
    50.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    金洙吉
  • 依托单位：
    大连理工大学
大尺寸金刚石晶圆高效超精密平坦化理论和技术研究
  • 批准号：
    50575034
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    24.0万元
  • 批准年份：
    2005
  • 负责人：
    金洙吉
  • 依托单位：
    大连理工大学
国内基金
海外基金