精细加工复合工艺的基础研究
批准号:
59775073
项目类别:
面上项目
资助金额:
11.0 万元
负责人:
金洙吉
依托单位:
学科分类:
加工制造
结题年份:
1999
批准年份:
1997
项目状态:
已结题
项目参与者:
方建成、徐文骥、徐旭、李方伟
ULSI制造中的铜互连层低压力平坦化技术基础
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批准号:90923025
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项目类别:重大研究计划
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资助金额:50.0万元
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批准年份:2009
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负责人:金洙吉
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依托单位:
大尺寸金刚石晶圆高效超精密平坦化理论和技术研究
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批准号:50575034
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项目类别:面上项目
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资助金额:24.0万元
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批准年份:2005
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负责人:金洙吉
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依托单位:
国内基金
海外基金