大尺寸金刚石晶圆高效超精密平坦化理论和技术研究
批准号：
50575034
项目类别：
面上项目
资助金额：
24.0 万元
负责人：
金洙吉
依托单位：
学科分类：
加工制造
结题年份：
2008
批准年份：
2005
项目状态：
已结题
项目参与者：
苏建修、杨连文、郭晓光、田业冰、霍凤伟、王彩玲、孟宪超
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中文摘要
本项目以化学气相沉积的大尺寸金刚石晶圆为研究对象，根据通讯、光电、半导体等领域对金刚石晶圆表面质量的要求以及目前金刚石晶圆抛光所面临的问题，提出了热化学辅助磨抛加工和化学机械抛光相结合的大尺寸金刚石晶圆高效平坦化加工新工艺。针对这一新工艺，研制FeCrNi合金基TiC微粉砂轮；研究磨抛过程中金刚石表面损伤和缺陷的产生机理和控制方法以及大尺寸金刚石晶圆高效超精密平坦化加工理论和相关工艺；研究金刚石晶圆的CMP中微观力学行为、物理化学作用和表面材料去除机理以及金刚石晶圆高质量表面的化学机械抛光工艺。通过深入系统地研究大尺寸金刚石晶圆超光滑平坦化表面加工的理论问题和关键技术，为我国生产高质量的金刚石晶圆提供拥有自主知识产权的超精密加工理论和技术。
英文摘要
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
机械工程材料学报
影响因子：
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作者：
[马兴伟, 金洙吉, 苑泽伟]
通讯作者：
苑泽伟
DOI：
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发表时间：
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期刊：
Journal of Material Science and Technology
影响因子：
--
作者：
[董伯先, 金洙吉, 康仁科, 苑泽伟]
通讯作者：
苑泽伟
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
Advanced Materials Research
影响因子：
--
作者：
[苑泽伟, 康仁科, 金洙吉, 马兴伟]
通讯作者：
马兴伟
DOI：
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发表时间：
--
期刊：
Advanced Materials Research
影响因子：
--
作者：
[金洙吉, 董伯先, 苑泽伟, 康仁科]
通讯作者：
康仁科
ULSI制造中的铜互连层低压力平坦化技术基础
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批准号：90923025
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项目类别：重大研究计划
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资助金额：50.0万元
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批准年份：2009
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负责人：金洙吉
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依托单位：
精细加工复合工艺的基础研究
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批准号：59775073
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项目类别：面上项目
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资助金额：11.0万元
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批准年份：1997
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负责人：金洙吉
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依托单位：
国内基金
海外基金