课题基金基金详情
新型非晶碳基薄膜压阻材料与MEMS器件关键技术
批准号：
U20A20296
项目类别：
联合基金项目
资助金额：
260 万元
负责人：
汪爱英
依托单位：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
学科分类：
E0512.微纳机械系统
结题年份：
--
批准年份：
2020
项目状态：
未结题
项目参与者：
汪爱英
关键词：
压阻材料MEMS器件薄膜非晶碳基
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