小尺度金属膜基复杂条件下微观失效SEM原位检测、表征及可靠性分析
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:10772091
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:38.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A0802.固体强度、损伤、断裂与疲劳
- 结题年份:2010
- 批准年份:2007
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2008-01-01 至2010-12-31
- 项目参与者:孙学伟; 吴新如; 李颖; 史云斐; 柳占立;
- 关键词:
项目摘要
小尺度膜基在未来MEMS等工业中具有十分重要的应用背景。由于尺度小、使用环境和失效模式复杂等造成其实验研究技术难度大,同时在微观非线性范围内还存在许多膜基系统的失效机制不清楚,试验数据稀少等问题。此外,小尺度膜基界面的失效检测、力学行为表征及可靠性分析等仍然缺乏系统研究,特别是原位实验研究膜基系统的失效模式与评价方法仍为空白。然而,为了获得可靠度高的膜基系统,原位试验研究现有工艺条件下的失效模式和可靠性评价方法十分必要。本研究基于SEM原位复杂试验条件拟对纳米晶粒的200nm-1000nm厚的Cu/Ni膜-基系统(包括多层膜),以及所获得的其他膜基系统进行界面强度评价和失效规律研究,利用SEM原位观测机械载荷和温度耦合影响下的不同试验方法,测定小尺度金属膜的性能参数,寻找小尺度薄膜内应力有效估计公式,比较使用块体材料性能参数所带来的误差范围,讨论膜厚变化对失效模式的影响及建立可靠性分析方法
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(13)
专著数量(2)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(5)
专利数量(0)
The effective modulus of super carbon nanotubes predicted by molecular structure mechanics
分子结构力学预测超级碳纳米管的有效模量
- DOI:10.1088/0957-4484/19/22/225701
- 发表时间:2008-06-04
- 期刊:NANOTECHNOLOGY
- 影响因子:3.5
- 作者:Li, Ying;Qiu, XinMing;Yin, Yajun
- 通讯作者:Yin, Yajun
工程结构钢疲劳寿命分散性评价方法
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:《工程与试验》,2009,49(1):4-7
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Investigations on the Mechanical Properties of Conducting Polymer Coating-Substrate Structures and Their Influencing Factors. A review.
导电聚合物涂层-基体结构力学性能及其影响因素的研究。
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Chirality independence in critical buckling forces of super carbon nanotubes
超级碳纳米管临界屈曲力的手性独立性
- DOI:10.1016/j.ssc.2008.07.025
- 发表时间:2008-10-01
- 期刊:SOLID STATE COMMUNICATIONS
- 影响因子:2.1
- 作者:Li, Ying;Qiu, XinMing;Fan, Qinshan
- 通讯作者:Fan, Qinshan
Effects of ytterbium addition into ZrWMoO8 ceramics with negative thermal expansion on microstructure and mechanical properties
添加镱对负热膨胀ZrWMoO8陶瓷显微组织和力学性能的影响
- DOI:--
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其他文献
氧化涂层对2024-T4铝合金的疲劳性能的改善
- DOI:--
- 发表时间:2014
- 期刊:Materials
- 影响因子:3.4
- 作者:王习术;Guo Xing-Wu;Li Xu-Dong;Ge Dong-Yun
- 通讯作者:Ge Dong-Yun
表面撞击坑对高铁车辆空心车轴运行安全性评估的影响
- DOI:10.13340/j.cae.2016.06.011
- 发表时间:2016
- 期刊:计算机辅助工程
- 影响因子:--
- 作者:徐忠伟;吴圣川;康国政;王习术
- 通讯作者:王习术
Fatigue properties of age-hardened Al alloy 2017-T4 under ultrasonic loading
时效硬化铝合金2017-T4超声加载下的疲劳性能
- DOI:10.1063/2.1203108
- 发表时间:2012
- 期刊:Theoretical and Applied Mechanics Letters
- 影响因子:3.4
- 作者:燕怒;王清远;王习术
- 通讯作者:王习术
氧化涂层与基体临界失效应力的扫描电镜原位试验研究
- DOI:10.1631/jzus.a1500178
- 发表时间:--
- 期刊:Journal of Zhejiang University-SCIENCE A (Applied Physics & Engineering)
- 影响因子:--
- 作者:王习术;郭兴伍
- 通讯作者:郭兴伍
腐蚀媒介对结构铝合金的疲劳性能影响研究
- DOI:--
- 发表时间:2016
- 期刊:Metals
- 影响因子:2.9
- 作者:阳辉辉;王艳玲;王习术
- 通讯作者:王习术
其他文献
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