织构约束增强的极紫外光刻光学超光滑表面的弹性发射抛光加工理论与技术
批准号：
62275249
项目类别：
面上项目
资助金额：
52 万元
负责人：
侯溪
依托单位：
中国科学院光电技术研究所
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
侯溪
关键词：
弹性发射抛光加工超光滑表面织构约束极紫外光刻光学
国基评审专家1V1指导 中标率高出同行96.8%
结合最新热点，提供专业选题建议
深度指导申报书撰写，确保创新可行
指导项目中标800+，快速提高中标率
客服二维码
微信扫码咨询
基于模型的绝对面形重构技术及其不确定度评估方法研究
基于双Hindle分块球和子孔径拼接的大型双曲面次镜检测技术
国内基金
海外基金