用于准分子激光的高气压大体积均匀稳定辉光放电机理研究
批准号:
52250051
项目类别:
面上项目
资助金额:
54 万元
负责人:
付洋洋
依托单位:
学科分类:
--
结题年份:
--
批准年份:
2022
项目状态:
未结题
项目参与者:
付洋洋
国基评审专家1V1指导 中标率高出同行96.8%
结合最新热点,提供专业选题建议
深度指导申报书撰写,确保创新可行
指导项目中标800+,快速提高中标率
客服二维码
微信扫码咨询
基于相似理论的等离子体刻蚀用大尺寸射频放电标度律研究
  • 批准号:
    --
  • 项目类别:
    --
  • 资助金额:
    80万元
  • 批准年份:
    2022
  • 负责人:
    付洋洋
  • 依托单位:
国内基金
海外基金