用于准分子激光的高气压大体积均匀稳定辉光放电机理研究
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基于相似理论的等离子体刻蚀用大尺寸射频放电标度律研究
- 批准号:--
- 项目类别:--
- 资助金额:80万元
- 批准年份:2022
- 负责人:付洋洋
- 依托单位:
国内基金
海外基金
