关键尺寸小角X射线散射方法发展及其在集成芯片领域的应用研究
批准号：
12175295
项目类别：
面上项目
资助金额：
64 万元
负责人：
杨春明
依托单位：
学科分类：
金属材料设计、计算与表征
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
杨春明
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资助金额：56.0万元
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批准年份：2019
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负责人：杨春明
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依托单位：
国内基金
海外基金