基于ALD氧化物半导体的2T0C三维DRAM存储器
批准号：
92264204
项目类别：
重大研究计划
资助金额：
300.00 万元
负责人：
罗庆
依托单位：
学科分类：
半导体电子器件与集成
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
罗庆
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依托单位：
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海外基金