课题基金基金详情
基于暗场散射光飞行时间的微纳缺陷精准检测机理研究
批准号：
52375414
项目类别：
面上项目
资助金额：
55.00 万元
负责人：
孔令豹
依托单位：
复旦大学
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
孔令豹
关键词：
暗场散射光飞行时间微纳缺陷精准检测机理
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基于暗场散射飞行时间的微细特征精准检测机理研究
  • 批准号：
    n/a
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    0.0万元
  • 批准年份：
    2023
  • 负责人：
    孔令豹
  • 依托单位：
    复旦大学
超精密光学测量中高反射特性及其抑制研究
  • 批准号：
    19ZR1404600
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    0.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    孔令豹
  • 依托单位：
    复旦大学
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