超精密光学测量中高反射特性及其抑制研究
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基于暗场散射飞行时间的微细特征精准检测机理研究
- 批准号:n/a
- 项目类别:省市级项目
- 资助金额:0.0万元
- 批准年份:2023
- 负责人:孔令豹
- 依托单位:
基于暗场散射光飞行时间的微纳缺陷精准检测机理研究
- 批准号:52375414
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:55.00万元
- 批准年份:2023
- 负责人:孔令豹
- 依托单位:
国内基金
海外基金
