EUV光刻掩模缺陷检测与补偿技术的研究
批准号：
U22A2070
项目类别：
联合基金项目
资助金额：
250.00 万元
负责人：
林景全
依托单位：
长春理工大学
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
林景全
关键词：
光刻掩模缺陷检测补偿技术极紫外光刻纳米制造
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极紫外光刻掩模白板缺陷检测技术研究
  • 批准号：
    62175018
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    63万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    林景全
  • 依托单位：
    长春理工大学
超快局域等离激元动力学演化的高时空分辨研究
  • 批准号：
    91850109
  • 项目类别：
    重大研究计划
  • 资助金额：
    80.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    林景全
  • 依托单位：
    长春理工大学
基于等离激元纳米结构的光辐射超短电子脉冲产生及控制
  • 批准号：
    61775021
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    63.0万元
  • 批准年份：
    2017
  • 负责人：
    林景全
  • 依托单位：
    长春理工大学
极小时空尺度等离激元场的相干控制研究
  • 批准号：
    11474040
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    99.0万元
  • 批准年份：
    2014
  • 负责人：
    林景全
  • 依托单位：
    长春理工大学
输出波长6.7nm的稀土元素Gd靶激光等离子体极紫外光源研究
  • 批准号：
    61178022
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    69.0万元
  • 批准年份：
    2011
  • 负责人：
    林景全
  • 依托单位：
    长春理工大学
飞秒激光等离子体通道传导射频电磁能的研究
  • 批准号：
    11074027
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    42.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    林景全
  • 依托单位：
    长春理工大学
利用共振等离子体激元对光场提高产生相干极紫外辐射研究
  • 批准号：
    60978014
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    38.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    林景全
  • 依托单位：
    长春理工大学
国内基金
海外基金