课题基金 / 基金详情

EUV光刻掩模缺陷检测与补偿技术的研究

批准号：
U22A2070
项目类别：
联合基金项目
资助金额：
250.00 万元
负责人：
林景全
依托单位：
长春理工大学
学科分类：
应用光学
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
林景全
关键词：
光刻掩模缺陷检测补偿技术极紫外光刻纳米制造

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