课题基金 / 基金详情

极紫外光刻掩模白板缺陷检测技术研究

批准号：
62175018
项目类别：
面上项目
资助金额：
63 万元
负责人：
林景全
依托单位：
长春理工大学
学科分类：
光学信息获取、显示与处理
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
林景全
关键词：
白板缺陷检测技术极紫外光刻

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