超滑滑动双稳态静电电容式RF MEMS开关研究
批准号：
62574138
项目类别：
面上项目
资助金额：
49.00 万元
负责人：
向小健
依托单位：
学科分类：
信息科学部
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
向小健
关键词：
--
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负责人：向小健
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依托单位：
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