纳米加工机理的研究是纳米加工技术的重要研究课题。目前一些超精密加工方法已能实现纳米级厚度材料的去除和纳米级粗糙度的加工表面。在纳米尺度上的加工过程已具有现代物理学研究的量子效应，但是现在对纳米加工过程机理的研究大多采用经典的统计物理学理论，忽略了量子效应的影响，与纳米加工过程的物理本质有较大的差别。本课题研究拟采用现代原子分子物理学的碰撞动力学理论，直接从原子分子之间的相互作用分析纳米加工过程的机理，并与用原子力显微镜刻划等纳米加工方法的实验结果相验证。本课题研究的目的就是通过研究纳米加工表面形成过程中的量子物理效应及其内部的微观输运机制来进一步揭示纳米加工过程的本质和基本规律，为现有的纳米加工技术方法提供理论解释，并为进一步探索新的纳米加工技术手段提供理论依据。