课题基金 / 基金详情

基于原子物理碰撞动力学理论的纳米加工过程机理分析及实验研究

批准号：
50375040
项目类别：
面上项目
资助金额：
26.0 万元
负责人：
张飞虎
依托单位：
哈尔滨工业大学
学科分类：
加工制造
结题年份：
2007
批准年份：
2003
项目状态：
已结题
项目参与者：
唐圭新、张文生、仇中军、李立军、康桂文、郐吉才
关键词：
碰撞理论纳米技术超精密加工微观机理原子分子物理学

项目摘要

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项目成果

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中文摘要
纳米加工机理的研究是纳米加工技术的重要研究课题。目前一些超精密加工方法已能实现纳米级厚度材料的去除和纳米级粗糙度的加工表面。在纳米尺度上的加工过程已具有现代物理学研究的量子效应，但是现在对纳米加工过程机理的研究大多采用经典的统计物理学理论，忽略了量子效应的影响，与纳米加工过程的物理本质有较大的差别。本课题研究拟采用现代原子分子物理学的碰撞动力学理论，直接从原子分子之间的相互作用分析纳米加工过程的机理，并与用原子力显微镜刻划等纳米加工方法的实验结果相验证。本课题研究的目的就是通过研究纳米加工表面形成过程中的量子物理效应及其内部的微观输运机制来进一步揭示纳米加工过程的本质和基本规律，为现有的纳米加工技术方法提供理论解释，并为进一步探索新的纳米加工技术手段提供理论依据。
英文摘要
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专著列表
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会议论文列表
专利列表
Effects of dilution and disord
稀释和混乱的影响
DOI： --
发表时间： --
期刊：
影响因子： --
作者： [Guixin Tang*, Wolfgang Nolt]
通讯作者： Wolfgang Nolt
Carrier induced ferromagnetism
载流子诱导铁磁性
DOI： --
发表时间： --
期刊：
影响因子： --
作者： [Guixin Tang*, Wolfgang Nolt]
通讯作者： Wolfgang Nolt
Magnetic properties of a disor
磁差的磁特性
DOI： --
发表时间： --
期刊：
影响因子： --
作者： [G. X. Tang*, W. Nolting]
通讯作者： W. Nolting
超精密切削时刀具切削刃的作用机
DOI： --
发表时间： --
期刊： 中国机械工程，第15卷十五期，1320-1322，2004.8
影响因子： --
作者： [张文生*, 张飞虎, 李立军, 于信]
通讯作者： 于信
共 8 条
    高应变率条件下硬脆单晶材料加工去除机理及损伤形成机制研究
    • 批准号：
      51975154
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      61.0万元
    • 批准年份：
      2019
    • 负责人：
      张飞虎
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学
    高能激光系统超洁净制造的关键基础科学问题研究
    • 批准号：
      51535003
    • 项目类别：
      重点项目
    • 资助金额：
      290.0万元
    • 批准年份：
      2015
    • 负责人：
      张飞虎
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学
    卧式液体静压主轴在超精密飞切加工中的动态行为分析及其对加工表面生成影响机制的研究
    • 批准号：
      51275115
    • 项目类别：
      面上项目
    • 资助金额：
      90.0万元
    • 批准年份：
      2012
    • 负责人：
      张飞虎
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学
    基于空气静压主轴非线性动力学行为分析的纳米切削加工表面微波纹形成机制研究
    • 批准号：
      90923023
    • 项目类别：
      重大研究计划
    • 资助金额：
      50.0万元
    • 批准年份：
      2009
    • 负责人：
      张飞虎
    • 依托单位：
      哈尔滨工业大学
    国内基金
    海外基金