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全对称MEMS谐振环式陀螺仪的结构优化设计与补偿方法

批准号：
LQ19F040011
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
马志鹏
依托单位：
浙江大学
学科分类：
机械设计与制造
结题年份：
--
批准年份：
2018
项目状态：
未结题
项目参与者：
马志鹏
关键词：
MEMS谐振器 全对称结构 环形陀螺仪 结构优化设计 温度补偿

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