金刚石高效共掺杂多路微波等离子体CVD设备
批准号：
62127812
项目类别：
国家重大科研仪器研制项目
资助金额：
828.2 万元
负责人：
张进成
依托单位：
学科分类：
加工制造
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
张进成
关键词：
张进成的其他基金
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依托单位：
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