Ti2AlC MAX 相涂层双极性高功率脉冲磁控溅射放电特性及低温成相机理研究
批准号：
LQ22E010012
项目类别：
省市级项目
资助金额：
--
负责人：
周广学
依托单位：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
学科分类：
A29.等离子体物理
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
周广学
关键词：
Ti2AlC MAX 相涂层双极性高功率脉冲磁控溅射放电低温成相等离子体物理E02 领域
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Cr2AlC涂层异质双靶反应高功率脉冲磁控溅射放电特性及低温成相机理
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