Ti2AlC MAX 相涂层双极性高功率脉冲磁控溅射放电特性及低温成相机理研究
批准号：
LQ22E010012
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
周广学
依托单位：
学科分类：
等离子体物理
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
周广学
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资助金额：30.0万元
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批准年份：2021
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负责人：周广学
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依托单位：
国内基金
海外基金