高可靠高精度超薄柔性硅基MEMS智能压力传感器技术研究
批准号：
Z25A020018
项目类别：
省市级项目
资助金额：
万元
负责人：
陈颖
依托单位：
学科分类：
金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
陈颖
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