使用极紫外光高分辨率无损地量测层状样品的结构和厚度的方法研究
批准号：
MS25F050043
项目类别：
省市级项目
资助金额：
--
负责人：
包宜骏
依托单位：
浙江大学杭州国际科创中心
学科分类：
A05.计算数学
结题年份：
--
批准年份：
2025
项目状态：
未结题
项目参与者：
包宜骏
关键词：
逆问题求解数值模拟光学层析成像反演算法参数估计
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