高灵敏度微型热式流量传感器的单片集成化研究
批准号:
2020A1515010556
项目类别:
省市级项目
资助金额:
10.0 万元
负责人:
许威
依托单位:
学科分类:
电气科学与工程
结题年份:
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批准年份:
2020
项目状态:
未结题
项目参与者:
许威
面向呼吸监测的CMOS-MEMS单片集成多功能传感微系统研究
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批准号:--
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项目类别:省市级项目
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资助金额:30.0万元
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批准年份:2024
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负责人:许威
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依托单位:
柔性薄膜上微悬桥技术及超高灵敏电化学阻抗型MEMS流量传感器研究
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批准号:--
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项目类别:省市级项目
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资助金额:10.0万元
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批准年份:2022
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负责人:许威
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依托单位:
基于CMOS-MEMS单片集成与微悬桥真空缝合的超低气体流速传感器研究
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批准号:52105582
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项目类别:青年科学基金项目(C类)
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资助金额:30.0万元
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批准年份:2021
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负责人:许威
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依托单位:
国内基金
海外基金