面向呼吸监测的CMOS-MEMS单片集成多功能传感微系统研究
批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
30.0 万元
负责人：
许威
依托单位：
深圳大学
学科分类：
E01.金属材料
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
许威
关键词：
CMOS MEMS 传感器 微系统 呼吸监测
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柔性薄膜上微悬桥技术及超高灵敏电化学阻抗型MEMS流量传感器研究
  • 批准号：
    n/a
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2022
  • 负责人：
    许威
  • 依托单位：
    深圳大学
基于CMOS-MEMS单片集成与微悬桥真空缝合的超低气体流速传感器研究
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    30万元
  • 批准年份：
    2021
  • 负责人：
    许威
  • 依托单位：
    深圳大学
高灵敏度微型热式流量传感器的单片集成化研究
  • 批准号：
    2020A1515010556
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    10.0万元
  • 批准年份：
    2020
  • 负责人：
    许威
  • 依托单位：
    深圳大学
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