课题基金 / 基金详情

全外延ScAlN薄膜及其HEMT结构的铁电极化调控研究

批准号：
62374002
项目类别：
面上项目
资助金额：
48 万元
负责人：
王平
依托单位：
北京大学
学科分类：
半导体器件物理
结题年份：
--
批准年份：
2023
项目状态：
未结题
项目参与者：
王平
关键词：
全外延ScAlN薄膜调控研究铁电极化HEMT结构

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