巨磁电阻自旋阀读出磁头的研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:69573032
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:14.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0204.计算机系统结构与硬件技术
- 结题年份:1999
- 批准年份:1995
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1996-01-01 至1999-12-31
- 项目参与者:赖武彦; 赖武彦; 宋庆山; 刘镜周; 阎明朗;
- 关键词:
项目摘要
研制成功了巨磁电阻自旋阀多层膜,性能达到制备巨磁电阻自旋阀读出头的要求,并制造了巨磁电阻自旋阀读出头样品.研究了不同Ar分压下巨磁电阻自旋阀多层膜的高角X光散射图像、多层膜表面的原子力显微图像、俄歇深度形貌、高低场SV曲线、多层膜的伪霍尔效应及多层膜界面状态。研制成功了各向异性磁电阻膜和作为偏置用的软相邻层膜,并制造了各向异性磁电阻传感器。研究了尺寸效应,应用在器件结构设计中。设计制造了多种光刻掩模版,探索了一套制备巨磁电阻自旋阀传感器及读出磁头的工艺条件。设计制造了测量磁电阻变化率及传输曲线的仪器。设计制造了均匀高场永磁真空退火炉。改进了溅射台有关结构,提高了工作效率。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
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