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基于二氧化钒MTFET的红外探测器系统集成技术研究
结题报告
批准号:
60577051
项目类别:
面上项目
资助金额:
22.0 万元
负责人:
陈长虹
依托单位:
学科分类:
F0504.红外与太赫兹物理及技术
结题年份:
2008
批准年份:
2005
项目状态:
已结题
项目参与者:
张静、王颖、徐源远、王海、陈言樑
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中文摘要
VO2薄膜是目前用来制备8-12 um非致冷微测辐射热红外探测器热敏电阻的理想材料。同时,VO2为纯电子型Mott-Hubbard相变材料,当电子浓度低于临界值时,材料显示为半导体或绝缘体的特性;当高于该临界值时,则显示为金属特性。因而可以把VO2薄膜设计成Mott相变场效应晶体管(MTFET)的沟道材料,在栅极外加电场的场效应作用下使沟道材料内的电子浓度发生变化来触发由半导体或绝缘体到金属的高速相变、以实现源极与漏极之间的导电态由截止到导通的快速转换。同时,MTFET在截止状态下利用沟道材料在吸收红外辐射后所产生的温度变化而导致其电阻率的变化来实现非致冷红外探测。该系统器件为集MTFET红外探测灵敏元与MTFET信号读出电路为一体新的平面集成器件,从而其工艺难度和成本大为降低、且不存在与标准硅IC工艺兼容性问题、更重要的是有望象TFT器件一样制备出更大面阵且红外性能进一步得到提高的器件。
英文摘要
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Reaction products and oxide thickness formed by Ti out-diffusion and oxidization in poly-Pt/Ti/SiO2/Si with oxide films deposited
沉积氧化膜的poly-Pt/Ti/SiO2/Si中Ti向外扩散和氧化形成的反应产物和氧化物厚度
DOI:10.1016/j.apsusc.2005.12.111
发表时间:2006
期刊:
影响因子:--
作者:Changhong Chen;D. Huang;Weiguang Zhu;Yi;X. Wu
通讯作者:X. Wu
DOI:10.1063/1.3009569
发表时间:2008-10-27
期刊:APPLIED PHYSICS LETTERS
影响因子:4
作者:Chen, Changhong;Wang, Renfan;Guo, Chongfeng
通讯作者:Guo, Chongfeng
DOI:--
发表时间:--
期刊:物理学报 56, 5221 (2007).
影响因子:--
作者:
通讯作者:
DOI:10.1063/1.2753746
发表时间:2007-07-02
期刊:APPLIED PHYSICS LETTERS
影响因子:4
作者:Chen, Changhong;Zhou, Zhiping
通讯作者:Zhou, Zhiping
类频率上转换红外辐射探测应用集成光子器件
  • 批准号:
    --
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    52万元
  • 批准年份:
    2022
  • 负责人:
    陈长虹
  • 依托单位:
石墨烯(甚)长波红外探测器应用与性能增强技术
  • 批准号:
    61675080
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    60.0万元
  • 批准年份:
    2016
  • 负责人:
    陈长虹
  • 依托单位:
相变氧化物THz波传输特性及集成超材料调制器应用
  • 批准号:
    61176064
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    63.0万元
  • 批准年份:
    2011
  • 负责人:
    陈长虹
  • 依托单位:
高速大容量微波开关电路新结构研究
  • 批准号:
    60376034
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    5.0万元
  • 批准年份:
    2003
  • 负责人:
    陈长虹
  • 依托单位:
国内基金
海外基金