On the Multipole Resonance Probe: Current Status of Research and Development
On the Multipole Resonance Probe: Current Status of Research and Development
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多极共振探针的研究与开发现状
DOI：
10.1109/tps.2021.3113832
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发表时间：
2021
影响因子：
1.5
通讯作者：
I. Rolfes
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. Oberrath;M. Friedrichs;J Gong;M. Oberberg;D. Pohle;C. Schulz;C. Wang;Peter Awakowicz;R.P. Brinkmann;M. Lapke;T. Mussenbrock;T. Musch;I. Rolfes
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影响因子：
3.8
作者：
J. Oberrath
通讯作者：
J. Oberrath
在非均匀等离子体中使用多极共振探头进行过程诊断和监测，以进行光学涂层的离子辅助沉积
影响因子：
3.8
作者：
T. Styrnoll;J. Harhausen;M. Lapke;R. Storch;R. Brinkmann;R. Foest;A. Ohl;P. Awakowicz
通讯作者：
P. Awakowicz
具有高度稳定时基的 DC 至 5 GHz TDR 脉冲发生单元，适用于等离子体诊断测量系统
DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
IEEE International Conference on Wireless Information Technology and Systems
影响因子：
--
作者：
G. Hasenacker;R. Storch;N. Pohl;T. Musch
通讯作者：
T. Musch
多极共振探头：使用 3D 电磁场模拟研究有源等离子共振探头
DOI：
--
发表时间：
2012
期刊：
European Microwave Conference
影响因子：
--
作者：
C. Schulz;I. Rolfes;T. Styrnoll;P. Awakowicz;M. Lapke;J. Oberrath;T. Mussenbrock;R. Brinkmann;R. Storch;T. Musch
通讯作者：
T. Musch
基于多极共振探针的控制器：研究等离子体沉积的技术
影响因子：
1.3
作者：
C. Woelfel;M. Oberberg;B. Berger;D. Engel;R. Brinkmann;P. Awakowicz;J. Lunze;J. Schulze
通讯作者：
J. Schulze