Effects of nitrogen addition on methan-based ECR plasma etching of gallium nitride
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氮添加对氮化镓甲烷基ECR等离子体刻蚀的影响
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Z.Jin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Z.Jin
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