Direct measurement technique of strain in XRD tensile test for evaluating Poisson's ratio of micron-thick TiN films

Direct measurement technique of strain in XRD tensile test for evaluating Poisson's ratio of micron-thick TiN films
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XRD拉伸试验应变直接测量技术评价微米厚TiN薄膜的泊松比

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings of The Seventeenth IEEE International Conference on Microelectromechanical Systems
影响因子：
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通讯作者：
Keiji Koterazawa
Keiji Koterazawa
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Takahiro Namazu;Shozo Inoue;Daisuke Ano;Keiji Koterazawa

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI： 10.1016/s0040-6090(98)01632-0
发表时间： 1999
期刊： Thin Solid Films
影响因子： 2.1
作者：
S. Inoue;T. Ohba;H. Takata;K. Koterazawa
通讯作者： K. Koterazawa