Experimental study on multi-layer ice fixed abrasive polishing of single crystal germanium wafer
Experimental study on multi-layer ice fixed abrasive polishing of single crystal germanium wafer
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单晶锗片多层冰固定磨料抛光实验研究
DOI：
10.1007/s00170-015-8020-3
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发表时间：
2016-07
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Wang Min
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Zhao Yan;Zuo Dunwen;Sun Yuli;Wang Min
基于冰固结磨料抛光（IFAP）的熔化自修整，提出了一种新的低温抛光方法--多层冰固结磨料抛光（MIFAP）。研制了多层冰固结磨料抛光工具（MIFAPT），
Based on the self-dressing of ice fixed abrasive polishing (IFAP) by melting, a new method of subzero polishing was proposed in this paper as multi-layer ice fixed abrasive polishing (MIFAP). The multi-layer ice fixed abrasive polishing tool (MIFAPT) was
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影响因子：
4.1
作者：
Chandra, Abhijit;Anderson, Grant;Wegener, Konrad
通讯作者：
Wegener, Konrad
影响因子：
--
作者：
孟龙晖;He Ning
通讯作者：
孟龙晖;He Ning
DOI：
10.1007/s00170-014-6662-1
发表时间：
2015-04
期刊：
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
影响因子：
--
作者：
Jun Li;Wenze Wang;Huimin Wang;Longlong Song;Zhanggui Hu;Y. Zhu;D. Zuo
通讯作者：
Jun Li;Wenze Wang;Huimin Wang;Longlong Song;Zhanggui Hu;Y. Zhu;D. Zuo
DOI：
10.4028/www.scientific.net/amr.996.615
发表时间：
2014-08
期刊：
Advanced Materials Research
影响因子：
--
作者：
L. Meng;N. He;Liang Li;Yinfei Yang;Wei Zhao
通讯作者：
L. Meng;N. He;Liang Li;Yinfei Yang;Wei Zhao
DOI：
10.1007/s00170-014-6245-1
发表时间：
2014-08
期刊：
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
影响因子：
--
作者：
Y. Peng;T. Jiang;K. Ehmann
通讯作者：
Y. Peng;T. Jiang;K. Ehmann