FIB/REM-System (Focussed Ion Beam kombiniert mit Rasterelektronenmikroskop)

他说：“Bisher给了我一个建议，并提出了Universität Siegen kein vergleichbares系统。德国<s:1> beraus vielfältigen Einsatzmöglichkeiten德国beantragten Gerätes德国spiegeln，德国spiegeln，德国spiegeln - ellten，德国spiegeln - ellten，德国spiegeln - ellten，德国spiegeln - ellten，德国Werkstoff- und纳米技术<e:1>，德国物理化学和Festkörperphysik德国德国zur，德国Quantenelektronik ersteck。技术与技术研究中心（könnten），技术与技术研究中心（gestärkt）和技术与技术研究中心（konkurrenzfähig）。iminzelnen liegen die Anwendungsschwerpunkte f<e:1> r die Werkstofftechnik bei der 3D-Analytik (EBSD und EDX) metallischer Proben der schichtsystem, der zielgerichteten Entnahme von TEM-Proben, des Micromachining von Spitzen（纳米压头，AFM） sowie der elektronischen kontaktiung von Nanostrukturen。In den Bereichen Höchstfrequenztechnik und Festkörperphysik wrden vorwiegend die strukturierung - und Micromachiningmöglichkeiten des FIB-Systems zur Nanostrukturierung von Kompositen, zum erzegen von 3D-Nahfeldsonden sowie zum gezelen von Halbleiterstrukturen genutzt werden。德国工业与化学研究所（dachhgebiet）：德国工业与化学研究所（dachhgebiet）：德国工业与化学研究所（hachhgebiet）：德国工业与化学研究所（hachleistungsbeton）：德国工业与化学研究所（Hochleistungsbeton）：德国工业与化学研究所（Hochleistungsbeton）：德国工业与化学研究所（Hochleistungsbeton）”

„Bisher gibt es an der Universität Siegen kein vergleichbares System. Die überaus vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des beantragten Gerätes spiegeln sich anhand des breit aufgestellten Nutzerkreises wider, der sich von Werkstoff- und Nanotechnologie über physikalische Chemie und Festkörperphysik bis hin zur Höchstfrequenztechnik und Quantenelektronik erstreckt. Alle Fachgebiete könnten erheblich von der Beschaffung einer FIB-Anlage profitieren, wodurch die Forschung in diesen Bereichen bedeutend gestärkt und konkurrenzfähig bleiben würde. Im einzelnen liegen die Anwendungsschwerpunkte für die Werkstofftechnik bei der 3D-Analytik (EBSD und EDX) metallischer Proben oder Schichtsysteme, der zielgerichteten Entnahme von TEM-Proben, des Micromachining von Spitzen (Nanoindenter, AFM) sowie der elektronischen Kontaktierung von Nanostrukturen. In den Bereichen Höchstfrequenztechnik und Festkörperphysik würden vorwiegend die Strukturierungs- und Micromachiningmöglichkeiten des FIB-Systems zur Nanostrukturierung von Kompositen, zum Erzeugen von 3D-Nahfeldsonden sowie zum gezielten Dotieren von Halbleiterstrukturen genutzt werden. Das Fachgebiet Bau- und Werkstoffchemie würde vor allem von den analytischen Möglichkeiten einer FIB-Anlage Gebrauch machen, um komplexe Untersuchungen von Strukturen, Gefügen und Prozessen moderner Bauwerkstoffe (Hochleistungsbeton) zu realisieren.“