Lokale elektroneninduzierte Oxidation von dünnen Schichten aus amorphem Kohlenstoff

Die Vielgestaltigkeit der Natur spiegelt sich anschaulich in den vielfältigen Erscheinungs-and Bindungsformen wider，in denen uns das Element Kohlenstoff begegnet.在纳米物理学和技术中，柯伦斯托夫首先要在自然界中找到自己的位置。Während mit Kohlenstoff modifikationen wie beispielsweise Nanoröhren gegenwärtig sehr intensiv gearbeitet wird，spielen dünne Schichten aus Kohlenstoff bisher努尔eine Nebenrolle.您的韦尔登是一种鞋。在过去的一年里，由于电子设备在局部氧化韦尔登环境中的作用，这种气体被吸收。Dabei entstehen Vertiefungen von komplexer Geometrie im Nanometermaßstab.这种纳米结构与离子交换技术一样，在材料上具有很高的性能。Die Kohlenstoff-Nanostrukturierung lässt sich als paralleles Verfahren ausführen; dadenbekommt dieses Verfahren eine greße technologische Relevanz.该项目与现有的种植工人一起，可以帮助人们理解电子工业的微生物学机理。

Die Vielgestaltigkeit der Natur spiegelt sich anschaulich in den vielfältigen Erscheinungs- und Bindungsformen wider, in denen uns das Element Kohlenstoff begegnet. In der nanoskopischen Physik und Technologie wird dem Kohlenstoff erst nach und nach die Aufmerksamkeit zuteil, die seiner Bedeutung in der Natur entspricht. Während mit Kohlenstoffmodifikationen wie beispielsweise Nanoröhren gegenwärtig sehr intensiv gearbeitet wird, spielen dünne Schichten aus Kohlenstoff bisher nur eine Nebenrolle. Sie werden beispielsweise als Schutzschichten eingesetzt. Seit einigen Jahren ist bekannt, dass Kohlenstoffschichten durch Elektronenbeschuss unter sauerstoffhaltiger Atmosphäre lokal oxidiert werden können. Dabei entstehen Vertiefungen von komplexer Geometrie im Nanometermaßstab. Diese Nanostrukturen lassen sich mit technologischen Verfahren wie Ionenätzen in andere Materialien übertragen. Die Kohlenstoff-Nanostrukturierung lässt sich als paralleles Verfahren ausführen; dadurch bekommt dieses Verfahren eine große technologische Relevanz. Die mit dem vorliegenden Projektvorhaben geplanten Arbeiten sollen helfen, den bisher weitgehend unverstandenen mikroskopischen Mechanismus der elektroneninduzierten Kohlenstoffoxidation zu erhellen.