Fokussiertes Ionenstrahlgerät / Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (FIB/FEG-SEM)

Fokussierte Ionenstrahlgerät/Feldmissions-Rastemaktronenmikroskop，FIB/FEG-SEM genannt，ist ein flexibles und leistungsfähiges Werkzeug für den Mikro- und Nanobereich，das nicht努尔Gewinnung hochauflösender zwei- und dreidimensionaler Bild- und Analysedaten，sondern auch zur Materialmodifikation für Strukturierungsaufgaben und Mikroprüfversuche sowie zur Probenpreparation für die Transmissionselektronenmikroskopie（TEM）verwendet wird. Speziell für mehrphaenproben und für moderne Verbenwerkstoffe，wie sie gerade im Sonderforschungsbereich 986韦尔登and die aus Komponenten mit völlig unterdlichen Materialeigenschaften aufgebaut sind，ist der fokussierte Ionenstrahl often die einzig verbleibende Möglichkeit zur Herstellung elektronenerenter Folien für hochauflösende TEM Untersuchungen. Die Lift-Out Technik mit Hilfe von Mikromanipulatoren ermöglicht zudem die Zielpreparation innerhalb weniger Nanometer und ist Voraussetzung für lokal definierte Untersuchungen an den Materialien.但是，也可以通过材料吸收或沉积的方法来进行结构分析，从而在汉堡-哈堡工业大学的材料科学、分解研究、微系统技术、生物系统技术和物理学研究中，利用FIB/FEG-SEM和Bauphysics进行三维结构重建。程序员使用现代的FIB进行柔性的材料、方法和程序设计。'

'Das Fokussierte Ionenstrahlgerät/Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop, hier kurz FIB/FEG-SEM genannt, ist ein flexibles und leistungsfähiges Werkzeug für den Mikro- und Nanobereich, das nicht nur zur Gewinnung hochauflösender zwei- und dreidimensionaler Bild- und Analysedaten, sondern auch zur Materialmodifikation für Strukturierungsaufgaben und Mikroprüfversuche sowie insbesondere zur Probenpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) verwendet wird. Speziell für mehrphasige Proben und für moderne Verbundwerkstoffe, wie sie gerade im Sonderforschungsbereich 986 entwickelt werden und die aus Komponenten mit völlig unterschiedlichen Materialeigenschaften aufgebaut sind, ist der fokussierte Ionenstrahl oft die einzig verbleibende Möglichkeit zur Herstellung elektronentransparenter Folien für hochauflösende TEM-Untersuchungen. Die Lift-Out Technik mit Hilfe von Mikromanipulatoren ermöglicht zudem die Zielpräparation innerhalb weniger Nanometer und ist Voraussetzung für lokal definierte Untersuchungen an den Materialien. Aber auch Strukturierungsaufgaben durch Materialabtrag oder Deposition sowie die dreidimensionale Rekonstruktion von Volumen im Bereich von mehreren Kubikmikrometern mit einer Auflösung von wenigen Nanometern sind Alleinstellungsmerkmale der FIB/FEG-SEM und unbedingt notwendiges Forschungswerkzeug in den Materialwissenschaften, der Katalyseforschung, der Mikrosystemtechnik, der Biosystemtechnik und der Bauphysik an der Technischen Universität Hamburg-Harburg. Die programmierbare Ansteuerbarkeit und Erweiterbarkeit moderner FIB ermöglicht zudem die flexible Anpassung des Gerätes an zukünftige Materialien, Methoden und Anwendungen.'