Absolutverfahren zur Messung von rotationssymmetrischen Asphären in einem Twyman-Green-Interferometer mittels Zwei-Wellenfront-Hologrammen unter Verwendung einer neurartigen Radialshear-Position

Asphärische Linsen finden in der industriellen Praxis umfangreiche und vielseitige Anwendungen.所有的绝对误差都是韦尔登的，它是由干涉仪系统的绝对误差引起的。B。将使光刻光学的通用技术得到韦尔登。这是一个更容易理解的问题，所以我们需要一个完全正确的解决方案。在这里，我们将通过一个中性径向剪切位置来确定旋转的最佳位置，并通过该位置来确定垂直于径向剪切线的不同位置。在差分测量中，误差也是相对于干涉仪的特殊误差。Die Verwendung eines Zwei-Wellenfronten-DOE mit sehr ähnlichen Wellenfronten macht dabei eine spezielle mechanische Streifenmaske als Blende erforderlich.他说他有两个绝对的错误，一个是错误的。它的绝对值是绝对值。

Asphärische Linsen finden in der industriellen Praxis umfangreiche und vielseitige Anwendungen. Allerdings müssen Absolutverfahren entwickelt werden, die es erlauben, die Oberflächenabweichungen des Prüflings von den systematischen Wellenaberrationen des Interferometers zu trennen, wenn man z. B. den gesteigerten Genauigkeitsanforderungen der Lithographie-Optiken gerecht werden will. Dies ist ein bisher weitgehend ungelöstes Problem, so daß es einen dringenden Bedarf zur Erforschung solcher Absolutverfahren gibt. Hier wird vorgeschlagen, zum einen das bereits bekannte Rotationsmittelungsverfahren durch Hinzunahme einer neuartigen Radialshear-Position zu vervollständigen, und zum anderen diese Position zur Bestimmung der Differenzenquotienten der Prüflingsabweichungen längs orthogonaler Richtungen zu verwenden. Beide Verfahren beruhen sowohl auf Differenzmessungen, als auch auf speziellen Bewegungen des Prüflings relativ zum Interferometer. Die Verwendung eines Zwei-Wellenfronten-DOE mit sehr ähnlichen Wellenfronten macht dabei eine spezielle mechanische Streifenmaske als Blende erforderlich. Damit stehen zwei Absolutverfahren zur Verfügung, deren Vergleich untereinander bzw. mit bereits existierenden Verfahren Aufschluß über die tatsächlich erreichten Absolutgenauigkeiten gibt.