Hochdurchsatz-Photoelektronenspektroskopie-Anlage (XPS, UPS)

Die Hochdurchandem Photoelektronenspektroskopie Anlage（XPS，UPS）wird für die automatisierte Untersuchung der chemischen Zusammensetzung und der chemischen Bindungen sowie für Valenzbandspektroskopie an Oberflächen and in Tiefenprofilen an Dünnschichtmateribliotheken（100 mm Durchmesser）sowie für Einzelproben benötigt. Bisher可以用自动化方法（EDX）建立一个完整的韦尔登测试数据库。HochdurchandXPS Anlage是一种通用的测量方法，用于测量和分析化学成分中的元素。Mittels UPS können Valenzbandspektren aufgenommen韦尔登，um z.B. Legierungs-/Dotiereffekte insbesondere an oxidischen Systemen zu untersuchen. Die Hochdurchsatz XPS Anlage vervollständigt die vorhandenen Messmethoden für die combinatorische Materialforschung und erlaubt es，Zusammensetzungs-Prozessierungs-Struktur-Funktions-Beziehungen mit genauesten chemischen Informationen zu komplettieren。一个真空输送系统将真空泵和XPS支架结合起来，使材料流动、无污染和无溅射，从而使其更好地工作。

Die Hochdurchsatz Photoelektronenspektroskopie Anlage (XPS, UPS) wird für die automatisierte Untersuchung der chemischen Zusammensetzung und der chemischen Bindungen sowie für Valenzbandspektroskopie an Oberflächen und in Tiefenprofilen an Dünnschichtmaterialbibliotheken (100 mm Durchmesser) sowie für Einzelproben benötigt. Bisher kann an Materialbibliotheken mit automatisierten Methoden (EDX) nur die integrale Zusammensetzung gemessen werden. Die Hochdurchsatz XPS Anlage ermöglicht eine genauere Messung der Zusammensetzungen und die Analyse der Elementverteilung in der Schicht sowie der chemischen Zustände der untersuchten Elemente. Mittels UPS können Valenzbandspektren aufgenommen werden, um z.B. Legierungs-/Dotiereffekte insbesondere an oxidischen Systemen zu untersuchen. Die Hochdurchsatz XPS Anlage vervollständigt die vorhandenen Messmethoden für die kombinatorische Materialforschung und erlaubt es, Zusammensetzungs-Prozessierungs-Struktur-Funktions-Beziehungen mit genauesten chemischen Informationen zu komplettieren. Ein Vakuumtransfersystem zwischen den kombinatorischen Beschichtungsanlagen und der XPS Anlage erlaubt es, Materialbibliotheken, kontaminationsfrei und ohne Sputterreinigung zu untersuchen und dann weiter zu prozessieren.