Hochauflösendes analytisches Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop

GFE中的高分辨电子显微镜（REM）是一种通过形态学、化学（EDX）和电子显微镜（EBSD）进行微结构表征的通用方法。Gegenwärtig kann diese Combination an Charakterisierungsmethoden ausschließlich vom letzten vor 10 Jahren installierten REM geliefert韦尔登.在过去的几年里，GFE在研究大项目中的作用越来越明显，而在特殊研究领域中的技术项目，则不能通过一个梅尔韦尔登来实现。GFE的两次快速眼动研究在20年前就已经开始，而Hersteller认为，在Zukunft中对Ersatzteilen的测试并不足以保证梅尔的准确性。在近10年的时间里，通过检测技术的发展，以及小能量和可变Drücken，我们可以大大提高REM的效率。 Daher wird im vorliegenden Antrag an aktuellen Stand der Technik entrechendes Feldmissions-REM mit EDX，EBSD und SE-，BSE-and InLens-Detektoren sowie VP-Option beantragt.

Die hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie (REM) ist am GFE eine unverzichtbare Methode zur umfassenden Charakterisierung massiver Proben im Hinblick auf Morphologie, chemische (mittels energiedispersiver Röntgenmikroanalyse – EDX) und kristallographische Mikrostruktur (mittels Elektronenrückstreubeugung – EBSD). Gegenwärtig kann diese Kombination an Charakterisierungsmethoden ausschließlich vom letzten vor 10 Jahren installierten REM geliefert werden. Der stark gestiegene Bedarf an Untersuchungen durch die in den letzten Jahren vermehrte Einbindung des GFE in Forschungsgroßprojekte, darunter Teilprojekte in sechs Sonderforschungsbereichen, kann durch ein einzelnes Gerät nicht mehr bewältigt werden. Gleichzeitig ist das zweite Feldemissions-REM des GFE mittlerweile über 20 Jahre im Einsatz, und der Hersteller hat angekündigt, die Verfügbarkeit von Ersatzteilen in Zukunft nicht mehr garantieren zu können. Zusätzlich sind die abbildenden Fähigkeiten der REMs durch Fortschritt in der Detektortechnik, gerade auch bei kleinen Strahlenergien und variablen Drücken, in den letzten 10 Jahren stark angewachsen. Daher wird im vorliegenden Antrag ein dem aktuellen Stand der Technik entsprechendes Feldemissions-REM mit EDX, EBSD und SE-, BSE- und InLens-Detektoren sowie VP-Option beantragt.