Härtegradienten in Nanoschichtsystemen

(Gekürzt)：I m vorliegenden Projekt soll der Eifuüvon Strukturgradienten auf die Nanohärte e untersuht den.大足Sind die Herstellung Bisher hit Reisier er tin/VN-Multischichten unterschiedlicher Dicke auf si-und/order Al 2o³-subsubat Sowie die Erzeugung von Strukturgradienten in Richtung Kristallinen Zustand dw ch Wärmebehandung vorgesehench Wärmebehandung vorgeseen.我们将继续研究这一系统，并将其用于“超级模块”的开发。这是一种新的技术和技术，但它并不能满足客户的需求。Eindrucktiefen liegen Dann im Nanometerbereich.MIT Rasterkraft-and Transmissionselektronenmikroskopie Sollen Dolch Auswertung der Indiererungen Modelle der Härtesteigerung Geprüft wallen.这是一位杰出的艺术家，他的名字是格伦兹弗兰和格伦兹希希顿。Strukturen der Schichtsystem e Sollen tiefenabhängig verfeinert den.

(gekürzt):Im vorliegenden Projekt soll der Einfluß von Strukturgradienten auf die Nanohärte untersucht werden. Dazu sind die Herstellung bisher nicht realisierter amorpher TiN/VN-Multischichten unterschiedlicher Dicke auf Si- und/oder Al²O³-Substrat sowie die Erzeugung von Strukturgradienten in Richtung kristallinen Zustands durch Wärmebehandlung vorgesehen. Weiterhin soll das bisher dahingehend nicht studierte Schichtsystem TiC/VC nach dem Auftreten des "Supermoduleffektes" beim Gang vom amorphen zum kristallinen Zustand untersucht werden. Die Nanohärte soll mit Diamentindenter quantitativ in Abhängigkeit vom Strukturgradienten und dem Skalierungsfaktoren Indentergröße/ Schichtpaketdicke vermessen und verstanden werden. Eindrucktiefen liegen dann im Nanometerbereich. Mit Rasterkraft- und Transmissionselektronenmikroskopie sollen durch Auswertung der Indentierungen Modelle der Härtesteigerung geprüft werden. Es wird erwartet, dass sich z.B. nach Wärmebehandlung die Grenzflächen zu dreidimensionalen Grenzschichten entwickeln. Die Strukturen der Schichtsysteme sollen tiefenabhängig verfeinert werden.