光・熱回析分光法による半導体の評価
光・熱回析分光法による半導体の評価
使用光学/热衍射光谱评估半导体
批准号：
59550212
负责人：
波田 敏雄
金额：
$0.96万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1984
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1984 至 1985
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会议论文
トランスジューサ法による光音響分光測定
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批准号：58550212
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
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资助金额：$0.64万
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财政年份：1983
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负责人：波田 敏雄
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依托单位：
高速ZnO薄膜直流活性化スパタリング装置
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批准号：X00095----265004
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项目类别：Grant-in-Aid for General Scientific Research (D)
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资助金额：$0.24万
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财政年份：1977
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负责人：波田 敏雄
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依托单位：