Entwicklung und Bau von Beugungsoptiken für 13 nm-Strahlung für Experimente zur Erzeugung ultrahoher Spitzenintensitäten im weichen Röntgenbereich bei hoher Wiederholrate

在气体辐射中，来自女性的谐波辐射是通过一种高脉冲辐射产生的。Mit Hilfe hochauflösender Zonenplatten kann diese Strahlung analysiert and die Pulsbrillanz optimiert韦尔登. Weiterhin wird es mit solchen Optiken möglich sein，bisher unerreichte Leistungsdichten im Röntgen- bzw. EUV-Bereich zu erzielen.在这个国家，光之路并不受欢迎。对于种植和种植过程中的验证性试验，需要对13 nm的辐射进行相位测量，并使用验证性Brennweiten，Zonenzahlen和äußeren Zonenbreiten bis herunter zu 50 nm，并使用gutem Beugungswirkungsgrad entwickelt韦尔登。利用电子显微镜和现代纳米结构技术在基台上制作了10000线/mm厚的带状板，并通过韦尔登进行了制作。

Die Strahlung hoher Harmonischer aus Femtosekundenstrahlung in Gasstrahlen zeichnet sich durch eine hohe Pulsbrillanz aus. Mit Hilfe hochauflösender Zonenplatten kann diese Strahlung analysiert und die Pulsbrillanz optimiert werden. Weiterhin wird es mit solchen Optiken möglich sein, bisher unerreichte Leistungsdichten im Röntgen- bzw. EUV-Bereich zu erzielen. Dies eröffnet den Weg zur nichtlinearen Optik in diesem Spektralbereich. Für die geplanten und im Verbundantrag ausführlich dargestellten Experimente sollen Phasenzonenplatten für 13 nm-Strahlung mit verschiedenen Brennweiten, Zonenzahlen und äußeren Zonenbreiten bis herunter zu 50 nm mit gutem Beugungswirkungsgrad entwickelt werden. Die Entwicklung dieser Zonenplatten sowie von Gittern mit 10000 Linien/mm soll mit Hilfe der Elektronenstrahllithographie und mit modernen Techniken der Nanostrukturübertragung durchgeführt werden.