Diffraktive Optiken für die Lasermaterialbearbeitung

衍射光学元件的衍射光学元件的衍射光学元件的衍射光学元件的衍射光学元件möglichst vollständigerWärmeleitung)和des激光器（粒子Kohärenz）。Beim Gravieren, Härten， Schneiden和Schweißen ist eine gute kentnis der Material erzeeugten temperature - vertellung erforderlich， whobei insbesonere beden den bebeitungsfeldes von größter Wichtigkeit ist。Noch deutlicher也bei der lithographischen bearbeung äußert这是最好的问题，在重力和Abtragen von材料mitels maskenprojection。Hier fhren Strahlinhomogenitäten与Interferenzerscheinungen， insbesonere与Ecken与Kanten， z8耐受性erbaren Formveränderungen。Zur Herstellung präziser and scharfkantiger Strukturen soll die Intensitätsverteilung des Bearbeitungslasers in eine angepa; Zur Erzeugung geometrischer Strukturen and linen, Rechtecken oderkreisen bergefhrt werden。材料与材料之间的相互作用特征分析与材料与材料之间的相互作用特征分析与材料与材料之间的相互作用特征分析Wärmeleitungseigenschaften与材料与材料之间的相互作用特征分析。Diese erforderliche Einhaltung der Intensitätsumordnung soll mit Hilfe衍射光学元件erfolgen，以及project berechnet werden。1 .在德国，德国的berechnungsverfaren unbebefriedigende Lösungen .在德国，德国的berechnungsverfaren zum Einsatz kommen，德国的berechnungsverfaren zum Einsatz kommen，德国的benötigte unordnung ununbeziehung和德国的Ausnutzung der partiellen Kohärenz des Bearbeitungslasers ermöglicht。Das Berechnungsverfahren liefert, im Gegensatz zu biher bekannten Verfahren, Elemente ohne phasensprnge, die mit heute zur verf<s:1> gung steenden Methoden herstellbar sinet。Berechnete D0Es sollen传输与反射hergestellt werden，也就是在verindung mit einigen bearbeitungsmaterian untersucht werden。

Ziel des Projektes ist die Entwicklung eines Strahlformungskonzeptes auf Basis diffraktiver optischer Elemente unter möglichst vollständiger Einbeziehung der Eigenschaften des zu bearbeitenden Materials (insb. Wärmeleitung) und des Lasers (partielle Kohärenz). Beim Gravieren, Härten, Schneiden und Schweißen ist eine gute Kenntnis der im Material erzeugten Temperaturvertellung erforderlich, wobei insbesondere bei den beiden ersten Anwendungen die exakt gleichmäßige Erwärmung des Bearbeitungsfeldes von größter Wichtigkeit ist. Noch deutlicher als bei der lithographischen Bearbeitung äußert sich das bestehende Problem beim Gravieren und Abtragen von Material mittels Maskenprojektion. Hier führen Strahlinhomogenitäten und Interferenzerscheinungen, insbesondere an Ecken und Kanten, zu nicht tolerierbaren Formveränderungen. Zur Herstellung präziser und scharfkantiger Strukturen soll die Intensitätsverteilung des Bearbeitungslasers in eine angepaßte Verteilung zur Erzeugung geometrischer Strukturen wie Linien, Rechtecken oder Kreisen übergeführt werden. Diese Verteilung soll allen relevanten Eigenschaften des bearbeiteten Materials Rechnung tragen und insbesondere dessen Wärmeleitungseigenschaften berücksichtigen. Diese erforderliche Einhaltung der Intensitätsumordnung soll mit Hilfe diffraktiver optischer Elemente erfolgen, welche im Projekt berechnet werden. Da bisher bekannte Berechnungsverfahren unbefriedigende Lösungen liefern, soll ein neues Berechnungsverfahren zum Einsatz kommen, das die benötigte Umordnung unter Einbeziehung und Ausnutzung der partiellen Kohärenz des Bearbeitungslasers ermöglicht. Das Berechnungsverfahren liefert, im Gegensatz zu den bisher bekannten Verfahren, Elemente ohne Phasensprünge, die mit heute zur Verfügung stehenden Methoden herstellbar sind. Berechnete D0Es sollen für Transmission und Reflexion hergestellt werden, sowie in Verbindung mit einigen Bearbeitungsmaterialien untersucht werden.