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Development of a compact vacuum ultraviolet laser using a hollow fiber for plasma regulation and applications to photo-materials processing

Development of a compact vacuum ultraviolet laser using a hollow fiber for plasma regulation and applications to photo-materials processing
开发使用中空光纤进行等离子体调节的紧凑型真空紫外激光器及其在光材料加工中的应用
批准号：
18360040
负责人：
KUBODERA Shoichi
金额：
$5.9万
依托单位：
University of Miyazaki
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360040/
关键词：
真空紫外光希ガスエキシマ光電界電離中空ファイバー超短パルス高強度レーザー光物質プロセス真空紫外卓上型レーザー高強度レーザー光プロセス短波長光源技術

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
アルゴンで充たされた中空ファイバー内に高強度レーザー励起の光電界電離プラズマを生成し, 波長126nmの真空紫外アルゴンエキシマ増幅を行い, その特性を評価した. また希ガスを非線形媒質として超短パルス赤外光の第7高調波(波長126nm)の最適化を行った. 一台の励起用超短パルス高強度レーザーを用いて, アルゴンプラズマ増幅器と第7高調波を発生する増幅システムを構成し, 第7高調波出力の増幅を観測した. これらと並行して各種真空紫外光エネルギーに対する物質の脱離, 解離, 分解等の基礎過程を明らかにした.
英文摘要
アルゴンで充たされた中空ファイバー内に高強度レーザー励起の光電界電離プラズマを生成し, 波長126nmの真空紫外アルゴンエキシマ増幅を行い, その特性を評価した. また希ガスを非線形媒質として超短パルス赤外光の第7高調波(波長126nm)の最適化を行った. 一台の励起用超短パルス高強度レーザーを用いて, アルゴンプラズマ増幅器と第7高調波を発生する増幅システムを構成し, 第7高調波出力の増幅を観測した. これらと並行して各種真空紫外光エネルギーに対する物質の脱離, 解離, 分解等の基礎過程を明らかにした.
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会议论文
OFI rare-gas excimer amplifier for high-intensity VUV pulse generation
用于产生高强度 VUV 脉冲的 OFI 稀有气体准分子放大器
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Proc. SPIE vol.7196
影响因子： --
作者： [M. Katto, M. Kaku, K. Oda, T. Kamikihara, A. Yokotani, S. Kubodera, N. Miyanaga, and K. Mima]
通讯作者： and K. Mima
OFI rare-gas excimer amplifier for intense sub-picosecond VUV pulse generation
OFI 稀有气体准分子放大器，用于产生强亚皮秒 VUV 脉冲
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Masanori Kaku, et al.]
通讯作者： et al.
光電界電離を用いた真空紫外アルゴンエキシマ増幅器に関する研究
光场电离真空紫外氩准分子放大器的研究
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [原野慎也, ら]
通讯作者： ら
OFI argon excimer amplifier for intense subpicosecond VUV pulse generation
OFI 氩准分子放大器，用于产生强亚皮秒 VUV 脉冲
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Proceedings of SPIE Vol.7131
影响因子： --
作者： [Masanori Kaku, Shoichi Kubodera, Kazuyoshi Oda, Masahito Katto, Atsushi Yokotani, Noriaki Miyanaga, Kunioki Mima]
通讯作者： Kunioki Mima
共 29 条
    Vacuum ultraviolet micro-laser produced in photo-excited high-pressure Kr
    • 批准号：
      24651103
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      KUBODERA Shoichi
    • 依托单位：
      University of Miyazaki
    Development of vacuum-ultraviolet photo-induced cleaning device by use of a rare-gas excimer lamp
    • 批准号：
      13555202
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $7.49万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      KUBODERA Shoichi
    • 依托单位：
      University of Miyazaki
    Soft X-ray Laser by Hybrid Excitation Method Using Laser Produced Multiple Charged Ions
    • 批准号：
      08650054
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.15万
    • 财政年份：
      1996
    • 负责人：
      KUBODERA Shoichi
    • 依托单位：
      Miyazaki University