Synthese anorganischer Materialien über die Gasphase: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren

In den ersten 15 Monaten des Projektes wurden zunächst die Voraussetzungen f<e:1> r die durchf<e:1> hrung der Forschungsarbeiten geschaffen und anschliee . endin fach<e:1> bergreifender Kooperation Si/C/N-Hartstoffschichten hergestellt and charakterisiert。fgff（德国达姆施塔德工业大学）和德国雷射技术（德国耶拿工业大学）的激光模拟RF-Plasma-CVD-Anlagen aufgebaut bzw。设备改装师。德国<s:1>科学与工程研究所（IfW, TU Darmstadt），德国光学研究所（IfW, TU Darmstadt），德国化学研究所（GDOES），德国化学研究所（Charakterisierung der Schichten installiert and Betrieb genomics），德国化学研究所(weiterhin wurden die metallischen Substrate hergestellt and Präparationstechniken entwickelt。平行纤维纤维与FGDF fl<s:1> chtige Si/C/N-和Si/B/C/N- vorstufen合成。德国亚琛工业大学<s:1>有机化学研究所（亚琛工业大学）的研究进展与结构研究进展：Si/N和Si/C/N- schichten理论研究进展：气相研究进展：Oberflächenreaktionen mittel量子理论研究进展：Methoden untersucht。Sowohl am IPHT还包括FGDF和BTSC - PACVD-Schichten，以及IfW结构和bezichen， mechanichen和tribologics， Eigenschaften和tersucht。Schichten mit einer Dicke von bis zu 3 mm wurden auf terschiedlichen metallsubstrate abgeschieden, die Härtewerte um 30gpa zeigten。因此，所有的理论都是基于实验的，所有的理论都基于实验的，所有的理论都基于实验的，所有的先验都基于实验的，所有的先验都基于实验的，所有的先验都基于实验的。在项目阶段中，CVD-Prozess分为实验阶段和理论阶段，在材料阶段和工艺阶段，CVD-Prozess分为材料阶段和工艺阶段，CVD-Prozess分为系统化学阶段和工艺阶段。Die Schichten sollen aus Si/(B)/C/N-Vorstufen, Die am FGDF syntisiert werden, mittels PACVD auf dieselbe Weise im Bereich Lasertechnik des ipt and in Darmstadt (FGDF) erzeugt werden。在耶拿，研究CVD-Prozess的细节，研究schichhtbildgsebene的原位，研究lasergestter，研究flugzeitmassenspectre，研究亚琛工业大学的理论，研究hinsichtlich气相-和Oberflächenreaktionen untersuht。死Hartstoffschichten了我IfW达姆施塔特(TU) hinsichtlich我chemischen Zusammensetzung和der mechanisch-physikalischen Eigenschaften和hinsichtlich des Verschleiß-和Korrosionsverhaltens umfassend charakterisiert。研究方向：动力学项目与动力学特性，动力学特性与动力学特性，动力学特性与动力学特性，Oberflächenprozessen动力学特性与动力学特性，积分Verständnis des ausgewählten动力学特性与动力学特性。

In den ersten 15 Monaten des Projektes wurden zunächst die Voraussetzungen für die Durchführung der Forschungsarbeiten geschaffen und anschließend in fachübergreifender Kooperation Si/C/N-Hartstoffschichten hergestellt und charakterisiert. Am Fachgebiet Disperse Feststoffe (FGDF, TU Darmstadt) und im Bereich Lasertechnik (IPHT Jena) wurden analoge RF-Plasma-CVD-Anlagen aufgebaut bzw. eine bestehende Apparatur modifiziert. Am Institut für Werkstoffkunde (IfW, TU Darmstadt) wurde ein optisches Glimmentladungsspektrometer (GDOES) zur chemischen Charakterisierung der Schichten installiert und in Betrieb genommen, und weiterhin wurden die metallischen Substrate hergestellt und Präparationstechniken entwickelt. Parallel wurden am FGDF flüchtige Si/C/N- und Si/B/C/N-Vorstufen synthetisiert. Am Institut für Anorganische Chemie (RWTH Aachen) wurde die Abscheidung und Struktur von Si/N und Si/C/N-Schichten theoretisch hinsichtlich Gasphasen- und Oberflächenreaktionen mittels quantentheoretischer Methoden untersucht. Sowohl am IPHT als auch am FGDF wurden unter Verwendung der Si/C/N-Precursoren HMDS und BTSC PACVD-Schichten erzeugt, die am IfW strukturell und bezüglich ihrer mechanischen und tribologischen Eigenschaften untersucht wurden. Schichten mit einer Dicke von bis zu 3 mm wurden auf unterschiedlichen Metallsubstraten abgeschieden, die Härtewerte um 30 GPa zeigten. Sowohl die theoretischen als auch die experimentellen Ergebnisse deuten darauf hin, dass der Wasserstoffgehalt der Schichten und die Precursorstuktur einen sehr großen Einfluss auf das gesamte Eigenschaftsprofil des Schicht-Substrat-Verbundes haben. In der zweiten Projektphase wird der CVD-Prozess weiterhin experimentell und theoretisch untersucht und die Hartstoffschichten materialwissenschaftlich und werkstoffkundlich charakterisiert, um den CVD-Prozess als Gesamtsystem chemisch und verfahrenstechnisch umfassend zu betrachten. Die Schichten sollen aus Si/(B)/C/N-Vorstufen, die am FGDF synthetisiert werden, mittels PACVD auf dieselbe Weise im Bereich Lasertechnik des IPHT und in Darmstadt (FGDF) erzeugt werden. In Jena wird der CVD-Prozess detailliert in der Schichtbildungsebene in situ mittels lasergestützter Flugzeitmassenspektrometrie und an der RWTH Aachen theoretisch hinsichtlich Gasphasen- und Oberflächenreaktionen untersucht. Die Hartstoffschichten werden am IfW (TU Darmstadt) hinsichtlich ihrer chemischen Zusammensetzung und der mechanisch-physikalischen Eigenschaften sowie hinsichtlich des Verschleiß- und Korrosionsverhaltens umfassend charakterisiert. Gesamtziel des Verbundprojektes bleibt weiterhin, aus Korrelationen zwischen Abscheidebedingungen, Art und Eigenschaften der Gasphasenspezies, Oberflächenprozessen sowie den relevanten Harstoffschichteigenschaften theoretisch und empirisch ein vertieftes, integrales Verständnis des ausgewählten CVD-Verfahrens zu erarbeiten.